آلة تنظيف المياه CMOS ويفر
آلة تنظيف المياه CMOS ويفر
نموذج
SM-570

تقييم

وصف

الميزات

تطبيق لتنظيف الغبار سطح وحدة الكاميرا ، من خلال غسل المياه النقية الضغط العالي وتنظيف بخار الماء اثنين من السوائل ، إزالة فعال حامل ، علم الوجود CMOS ، مثل جزيئات الغبار السطحي ويفر.

التكامل بين الإنسان والآلة ، تشغيل زر واحد ، عملية كاملة كاملة نظيفة بالكامل التلقائي.

مع نظام تنظيف التكامل .

خزانة آلة الفولاذ المقاوم للصدأ ، نوافذ كبيرة للمراقبة ، عملية وجميلة ؛

غرفة تنظيف التصميم الخاصة ، والترشيح الثانوي FFU الهواء ، واستنزاف المياه المفتوحة والهواء DI توفر بيئة نظيفة لعملية نظيفة كاملة ؛

انخفاض استهلاك الطاقة وانخفاض الضوضاء تشغيل ؛

تصميم مظهر صغير مدمج ، وأقل منطقة مشغولة ، ونشر مريح.

ﻣﺮاﻗﺒﺔ اﻟﻨﻈﺎم ﺑﺎﻟﻜﺎﻣﻞ ﺑﻮاﺳﻄﺔ اﻷداة ، وﺗﺸﻐﻴﻞ اﻻﺳﺘﻘﺮار واﻟﺴﻼﻣﺔ.

التلقائي مرشح الأشعة تحت الحمراء ، لضمان تأثير التنظيف.


تخصيص

البعد

860 L) * 1000 W) * 1820 H) mm

طريقة نظيفة

بخار الماء اثنين من السوائل

مزود الطاقة

380V 10A 50Hz

طريقة التجفيف

عالية السرعة الطرد المركزي (أيون ساعد الرياح)

نظافة المياه النقية

17M Ω

دقة تصفية المياه النقية

1 μ م

ضغط الماء النقي

0.2MPa

دقة فلتر الهواء

0.01 μ م

قدرة هواء مضغوط

8m ³ / دقيقة

الغبار نظيفة القطر

1 μ m98٪ أعلاه

ضغط الهواء المضغوط

0.4--0.75MPa

ماكس استهلاك المياه النقية

10L / دقيقة

مواد

جسم الآلة مع 316 مرآة الفولاذ المقاوم للصدأ

استهلاك الهواء

5m ³ / min

وزن

300KG

ماكس لوحة العمل

Φ 570 ملم

طريقة التحكم

PLC + شاشة تعمل باللمس

ماكس نظيفة الحجم

200 L * 140 W mm

الضغط النظيف الطرد المركزي

0.15--1.4MPa

لوحة العمل السرعة التموينية

0--2000r / دقيقة