آلة تنظيف المياه CMOS ويفر
- نموذج
- SM-570
تقييم
وصف
● تطبيق لتنظيف الغبار سطح وحدة الكاميرا ، من خلال غسل المياه النقية الضغط العالي وتنظيف بخار الماء اثنين من السوائل ، إزالة فعال حامل ، علم الوجود CMOS ، مثل جزيئات الغبار السطحي ويفر.
● التكامل بين الإنسان والآلة ، تشغيل زر واحد ، عملية كاملة كاملة نظيفة بالكامل التلقائي.
● مع نظام تنظيف التكامل .
● خزانة آلة الفولاذ المقاوم للصدأ ، نوافذ كبيرة للمراقبة ، عملية وجميلة ؛
● غرفة تنظيف التصميم الخاصة ، والترشيح الثانوي FFU الهواء ، واستنزاف المياه المفتوحة والهواء DI توفر بيئة نظيفة لعملية نظيفة كاملة ؛
● انخفاض استهلاك الطاقة وانخفاض الضوضاء تشغيل ؛
● تصميم مظهر صغير مدمج ، وأقل منطقة مشغولة ، ونشر مريح.
● ﻣﺮاﻗﺒﺔ اﻟﻨﻈﺎم ﺑﺎﻟﻜﺎﻣﻞ ﺑﻮاﺳﻄﺔ اﻷداة ، وﺗﺸﻐﻴﻞ اﻻﺳﺘﻘﺮار واﻟﺴﻼﻣﺔ.
● التلقائي مرشح الأشعة تحت الحمراء ، لضمان تأثير التنظيف.
البعد | 860 ( L) * 1000 ( W) * 1820 ( H) mm | طريقة نظيفة | بخار الماء اثنين من السوائل |
مزود الطاقة | 380V 10A 50Hz | طريقة التجفيف | عالية السرعة الطرد المركزي (أيون ساعد الرياح) |
نظافة المياه النقية | ≧ 17M Ω | دقة تصفية المياه النقية | 1 μ م |
ضغط الماء النقي | ≧ 0.2MPa | دقة فلتر الهواء | 0.01 μ م |
قدرة هواء مضغوط | ≧ 8m ³ / دقيقة | الغبار نظيفة القطر | ≧ 1 μ m98٪ أعلاه |
ضغط الهواء المضغوط | 0.4--0.75MPa | ماكس استهلاك المياه النقية | 10L / دقيقة |
مواد | جسم الآلة مع 316 مرآة الفولاذ المقاوم للصدأ | استهلاك الهواء | 5m ³ / min |
وزن | 300KG | ماكس لوحة العمل | Φ 570 ملم |
طريقة التحكم | PLC + شاشة تعمل باللمس | ماكس نظيفة الحجم | 200 ( L ) * 140 ( W ) mm |
الضغط النظيف الطرد المركزي | 0.15--1.4MPa | لوحة العمل السرعة التموينية | 0--2000r / دقيقة |